在半導體材料的市場占比中,電子特氣占 14%,成爲僅次于矽片的第二大半導體材料市場。業内指出,電子特氣的需求在 2023 年年内或将在集成電路、面闆、光伏三大支柱産業的支持下完成逆轉提升。
電子特種氣體被稱作工業氣體 " 王冠上的明珠 ",同時,作爲半導體制造的關鍵材料,也被譽爲半導體産業的 " 血液 ",會直接影響半導體産品的性能,被廣泛應用于清洗、光刻、刻蝕、摻雜、外延沉積等工藝中。在集成電路晶圓制造過程中,電子特氣的使用占比接近 14%,系僅次于矽片的第二大耗材。電子氣體應用廣泛,對技術要求很高,對于氣源及其供應系統有着苛刻的要求,且由于技術難度大、認證周期長以及初期投入多,導緻國内電子特氣産業還處于追趕階段,但随着政策資金的支持,國産電子特氣企業市占率逐步提升。民生證券指出,随着國産氣體企業品類擴充加速,我國電子特氣行業有望迎來全面 " 開花 "。
據财聯社主題庫顯示,相關上市公司中:
華特氣體經過長期的産品研發和認證,成功實現了對國内 8 寸、12 寸集成電路制造廠商超過 80% 的客戶覆蓋率。公司自主研發生産的 4 款光刻氣體是中國唯一一家同時獲得荷蘭 ASML 和日本 GIGAPHOTON 認證的氣體公司。
中船特氣是國内電子特種氣體行業的先驅者,從事電子特種氣體的研發及産業化已有二十餘年的曆史。