廣州：鼓勵發展光刻膠、光芯片等高端半導體制造材料

36 氪獲悉，《廣州開發區廣州市黃埔區促進集成電路産業發展辦法》今日發布，文件提到，鼓勵發展大矽片、光掩膜、電子氣體、光刻膠、抛光材料、高純靶材、光芯片等高端半導體制造材料，支持清洗設備、光刻機、刻蝕設備、離子注入、沉積設備、封裝設備 ( 劃片機、減薄機、引線鍵合機、倒裝鍵合機及貼片機等 ) 、檢測設備 ( 測試機、探針台等 ) 以及單晶生長爐、外延生長爐等設備、關鍵零部件及工具國産化替代。對當年産值首次達到 2000 萬元、5000 萬元、1 億元、3 億元、5 億元、10 億元的集成電路裝備、材料、零部件類企業，經認定，分别給予 20 萬元、50 萬元、100 萬元、200 萬元、300 萬元、500 萬元的扶持，同一企業按差額補足方式最高扶持 500 萬元。