36 氪獲悉，近日廈門韫茂科技有限公司（以下簡稱 " 韫茂科技 "）宣布連續完成 A+ 輪和 B 輪兩輪融資，累計融資數億元，引入新股東舜宇産業基金、創合鑫材（國投創合與廈鎢産業基金）、國謙資本、長江證券旗下的長江成長資本、利勢資本、銀杏谷資本、禦道創投，老股東紅杉中國繼續加持，投中資本擔任獨家财務顧問。本輪融資資金将用于技術研發投入及加快産品規模量産。
廈門韫茂科技有限公司成立于 2018 年，公司緻力于成爲一家平台型的納米級薄膜沉積裝備制造企業。公司目前已推出 12 款産品，産品線包括 ALD 原子層成膜系統、PVD 物理氣相沉積系統、CVD 化學氣相沉積系統、UHV 超高真空鍍膜裝備等高端薄膜沉積設備。公司已經獲得了 39 項專利授權，還有幾十項專利正在審批中。
原子層沉積（ALD）是韫茂科技的核心技術之一。公司核心技術是針對 3D 結構材料鍍膜領域。ALD 可以使材料以原子層爲單位在材料表面進行生長，實現數字式的高精度控制。ALD 在納米級别的鍍膜方面表現出色，其最大優勢是能夠填充并生長出均勻性較高的三維結構。
與化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）相比，ALD 能夠在任何位置實現均勻的鍍膜。PVD 因爲受到幾何結構的影響，通常隻能覆蓋面對靶材一側的樣品表面，适用于平面鍍膜。CVD 鍍膜可以覆蓋各位置，但是表面各處生長沉積難以精準控制、鍍膜厚度并不均勻。
對于具有階梯結構的表面，例如凹槽、孔隙等，ALD 能夠在每個層面實現接近 100% 的均勻覆蓋。
示意圖
但是 ALD 技術的沉積速度較慢，每層的生長時間較長，在工業大規模生産的節拍速度面臨挑戰。韫茂科技基于團隊自身在半導體裝備行業多年的技術積累，自主研發推出了新型批次型 ALD 裝備，突破了 ALD 生産速度的問題，進而可以大幅降低生産成本。
作爲薄膜沉積設備制造商，韫茂科技的核心技術能力體現在工藝和硬件設計兩方面。在工藝方面，公司注重把控工藝過程、化學反應的最優參數。硬件設計方面則包括機械、自動化、電氣、軟件以及安全的設計能力。公司也通過虛拟仿真技術，從氣流、氣壓、真空、溫度、等離子體等多個維度對裝備進行系統性的研發設計。
創新薄膜沉積技術應用領域，拓展新型顯示、光伏、锂電等泛半導體領域，實現小批量出貨
在下一代高清面闆及 VR/AR 頭顯領域，特别是 Micro OLED、Micro LED、Mini LED 等新型顯示屏量産方面，ALD 薄膜沉積技術至關重要。
公司的 ALD 薄膜沉積技術可以爲下一代背光及直顯芯片實現超薄、均勻的保護薄膜沉積，提供封裝保護，使其具備良好的阻水阻氧等防護能力。
公司研發的新型批次型 CBATCH ALD 裝備可以批量處理新一代屏幕顯示産品。其産能是同類裝備産品的數倍，大幅降低客戶 COO。這将有力推動 Mini/Micro LED/OLED 行業實現量産突破，最終降低終端客戶使用成本。
目前，公司 CBATCH ALD 創新的架構設計已獲十幾項專利授權，已成功進入國内頭部光電芯片公司供應鏈，實現了小批量出貨，後續将進入批量出貨階段。另外，公司自主知識産權的粉末 ALD 已導入多家頭部客戶。
瞄準新興市場高端精密制造需求，推進産品技術平台化
綜合來看，韫茂科技是将半導體行業的精密薄膜制造技術運用到新型顯示、锂電、光伏、功率器件等領域，特别是針對能源領域産品和功率器件的精密生産制造。相較于半導體行業已經進展到幾納米的制造精度，目前泛半導體領域的制造精度有很大提升空間。
随着锂電、光伏行業近年來對産品性能的要求不斷提升，電池企業、組件企業都希望将半導體領域的制造工藝技術運用到自身生産制造過程之中，形成更加精細化、甚至是參數化的制造控制。
韫茂科技看到了薄膜沉積技術在上述領域的應用前景，并圍繞不同應用行業和場景開發了一系列的 PVD、CVD、ALD 裝備産品，并通過研制出批次型的 ALD 裝備實現技術創新突破。
從市場層面來看，一方面在傳統半導體領域中國薄膜沉積設備國産化率僅有 5%，95% 依賴進口，存在國産替代的巨大空間。未來公司在 12 寸半導體布局，爲國産半導體提供高質量的鍍膜解決方案。
另一方面在锂電、光伏、新一代面闆及頭顯、第三代半導體等新興領域，薄膜沉積裝備企業與國外裝備企業處于同一起跑線，國内企業的技術水平更高、産品性能更好、叠代速度更快。
公司創始人王韫宇告訴 36 氪，公司目标是成爲一家平台型薄膜沉積裝備制造企業，圍繞自身核心技術，在産品架構上更加多元化。這一點不同于其他垂直于細分領域的裝備企業，這也有賴于公司團隊在産品研發方面的技術積累。
團隊方面，該公司核心團隊成員爲來自美國矽谷半導體設備公司的海歸人才，包括斯坦福大學博士，在半導體設備領域擁有近 20 年工作經驗。
投資人觀點：
舜宇産業基金團隊表示："ALD 是極具潛力的高端薄膜沉積技術，擁有廣闊的應用前景，韫茂科技團隊全面掌握以 ALD 爲代表的成膜工藝及高端裝備研發、生産能力，已賦能半導體、新能源、光電等産業應用，我們看好韫茂科技未來能夠成爲高端薄膜沉積裝備制造領域的佼佼者。"
創合鑫材投資團隊表示：" 薄膜沉積設備作爲半導體、先進顯示、新能源等領域必備的工藝設備，有廣闊的市場空間和良好的發展契機。韫茂團隊深耕行業多年，掌握精密薄膜制備技術，多領域産品已實現量産并獲得客戶認可。未來，韫茂将與上下遊夥伴共同開拓市場，我們希望發揮創合鑫材在新材料和高端裝備領域深耕的優勢，爲韫茂在産業鏈上下遊賦能，見證企業進一步發展壯大。"
