韓國半導體大廠相繼開啓氖氣回收計劃，回收率超70%

钛媒體 App 4 月 15 日消息，據韓國業界消息，韓國半導體巨頭三星電子、SK 海力士正利用氖氣回收技術，以實現可持續發展，并降低成本、減輕供應風險。SK 海力士近日宣布與韓國氣體供應商 TEMC 合作，在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊随其後，計劃在 2025 年将氖氣回收技術整合到其制造工藝當中。氖氣用于半導體光刻中激發激光，通過利用裝置收集廢氣，SK 海力士與 TEMC 實現了 72.7% 的氖氣回收率，并計劃将效率進一步提升至 77%。