近日，36 氪獲悉，半導體前道制程量測設備公司優睿譜完成近億元 A 輪融資，本輪融資由基石浦江領投，渾璞投資、星河資本、中南創投、泓湖資本、杭州盟合、景甯靈岸等跟投。本輪融資将用于新産品的研發及量産。公司同時宣布啓用無錫技術中心和上海金橋研發中心。
優睿譜成立于 2021 年，緻力于打造高品質的半導體前道量測設備。
半導體量測設備主要用于半導體制造工藝中缺陷檢測和參數測量，廣泛用于矽片制造、芯片制造、先進封裝領域，如關鍵尺寸測量設備、薄膜厚度測量設備、缺陷檢測設備等。前道制程量測設備已超過百億美元市場規模。而更先進的制程工藝也擴大了量測設備的需求，給量測設備帶來更多新的市場空間。
優睿譜自主開發了半導體專用傅裏葉變換紅外光譜測量設備，可以用來測量外延層厚度及均勻性、元素濃度、矽料雜質含量等。
産品方面，優睿譜 FTIR 設備 Eos200Lite 可用于碳化矽外延片外延層厚度及均勻性測量，目前已獲得多家頭部碳化矽基外延廠訂單；Eos200/200+, Eos300/300+ 用于矽基外延片外延層厚度和元素濃度測量設備也已獲得多家頭部矽基外延廠和 FAB 廠訂單。
近日，公司的碳化矽自動光學位錯微管檢測設備 SICD 系列交付客戶，可用于碳化矽襯底的位錯及微管缺陷檢測。據優睿譜總經理唐德明博士介紹，較國内同類功能的設備，SICD 設備在檢測速度上提升了數倍。
優睿譜産品
優睿譜總經理唐德明博士表示，由于公司産品線更加豐富、經營規模持續擴大，公司在無錫設立了技術中心。本次無錫技術中心的正式啓用，有助于公司加快對客戶的産品交付、有助于加快新産品的研發、驗證和量産。優睿譜緻力于打造高品質的半導體前道量測設備，在深厚的技術積累基礎上實現技術創新，助力中國半導體前道量測設備自主可控。
優睿譜業務布局
在創始團隊上，優睿譜核心團隊由長期從事半導體行業的海歸博士和國内資深的 IC 前道制程量測設備技術團隊構成。目前，優睿譜擁有近 60 名員工。
投資人說：
基石浦江：優睿譜團隊的技術創新和執行能力給我們留下深刻的印象。在持續拓展 FTIR 設備應用領域外，優睿譜還開發了多款用于其他前道量測場景的檢測和測量設備，帶動公司快速發展。
渾璞投資合夥人姜寅明：半導體量檢測設備被看作是半導體制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演着非常重要的角色。當前，半導體量檢測設備面臨着迫切的國産替代需求，優睿譜在較短時間内完成了多款量檢測産品的開發、推廣和驗證，充分反映出團隊的深厚技術積澱、廣闊人脈資源和強大市場能力。
中南創投合夥人王建晖：在半導體制造發展和制程工藝提升過程中，先進的量測設備必不可少，優睿譜正是順勢而生的一家優秀的半導體前道量測設備公司。憑借團隊深厚的研發能力、上下遊供應鏈的資源整合能力、敏銳的市場洞察力以及客戶開拓和服務能力，優睿譜成立僅一年半，就推出多款填補國内空白的前道量測設備，并獲得多家知名客戶的訂單和認可。
