文丨肖千平
編輯丨袁斯來
36 氪獲悉，精密儀器裝備研發企業「普樂精儀」日前完成千萬級天使＋輪融資，投資方爲南山戰新投。普樂精儀爲奇績創壇 2023 春季營團隊，此前已獲奇績創壇天使輪投資，累計融資金額達數千萬元人民币。本輪融資資金将用于市場開拓及産品研發。
普樂精密儀器（深圳）有限公司（以下簡稱「普樂精儀」）成立于 2023 年 3 月，基于自研超分辨率顯微視覺方法，主攻超精密測量儀器及運動台。精密測量主要應用于集成電路、高端數控機床等先進制造領域，解決高精度測量、定位等難題。伴随下遊應用場景迅速發展，精密測量也面臨量程更大、所需精度更高等挑戰。
現有精密測量方法主要包括光栅尺和激光幹涉儀兩類，且均存在改進空間。光栅尺多爲線性單軸測量，較難同時保證多軸正交性；激光測量則對環境穩定性要求極高，且多自由度标定工作繁瑣費時。
對此，普樂精儀自研超分辨率顯微視覺測量方法，能夠同時測量平面線性及角度位移，實時精确記錄運動軌迹，絕對式編碼保證定位精準，且結構更簡單、成本更低，能夠廣泛适用于各精密測量場景。
具體來看，這一測量方法基于創始人趙晨陽提出的超分辨率微結構，并采用單點金剛石切削等工藝制造其精密部件，确保功能實現。該測量方法的光學模型由普樂精儀團隊自主提出，通過光強、光源等要素的選擇及應用，保障測量設備運作過程中的穩定性等。此外，普樂精儀的核心算法也幫助提高測量精度及計算速度。
技術原理基礎上，普樂精儀現已開發精密運動台及精度分析儀兩産品方向，分别面向半導體晶圓加工檢測及高端數控機床診斷。
其中，精密運動台是用于晶圓檢測、激光切割等集成電路生産環節中重要設備組件。普樂精儀産品使用超分辨率顯微視覺測量方法，并配合視覺伺服技術，能夠超越傳統運動台所使用的光栅尺，實現運動台絕對位置的精準定位并精确記錄每次運動軌迹。相比市面占主導的國際廠商産品，普樂精儀運動台生産成本約能降至其 1/2。
機床精度分析儀主要用于數控機床出廠及使用中的校準，普樂精儀産品能夠替代目前廣泛使用的球杆儀，解決此前接觸式測量導緻的磨損、無法測量小半徑圓軌迹及任意軌迹等問題。普樂精儀機床分析儀現已實現三自由度、1 μ m 精度級别的非接觸式任意軌迹測量，同時價格更具優勢。
團隊方面，公司創始人兼 CEO 趙晨陽爲現任哈爾濱工業大學（深圳）機電工程與自動化學院副教授、博導，超精密測量儀器港澳聯合實驗室主任。公司其他核心成員均來自哈爾濱工業大學，團隊已在相關領域發表學術論文 40 餘篇，授權發明專利 10 餘項。
投資方觀點
南山戰新投投資團隊表示：精密定位測量是工業自動化的重要組成部分，普樂精儀作爲國内第一家将基于顯微視覺的精密定位技術應用于超精密運動台的團隊，在技術指标上優秀，精度上可以做到納米級，在成本上具有普及的潛力，并實現了技術和供應鏈的國産自主可控。因此，産品有望拓展更多對高精度、大量程、性價比的半導體設備、高端數控機床行業，充分挖掘超精密測量儀器以及運動平台應用的潛在市場。其次，團隊創始人是超精密測量領域知名學者，擁有國家重點實驗室學術背景，公司掌握前瞻性技術和工程化經驗。如今，公司已完成高校科技成果轉化，産業化進程提速，普樂精儀未來可期。
奇績創壇合夥人栾運明表示：測量精度是制約國産儀器設備的重要瓶頸，普樂精儀團隊在這方面技術積累深厚，同時他們也有極強的産品叠代和供應鏈整合能力，在奇績創業營期間成立公司并發展快速。相信依托他們自主研發的精度分析儀與精密運動平台的強勢入場，普樂精儀将成爲超精密儀器和先進制造領域的新勢力，持續助力半導體設備、高端機床等行業的國産化突破。
哈深資産公司董事長王軒表示：普樂精儀作爲集産學研一體的科技型公司，是哈工大（深圳）孵化的标志性項目成果。趙晨陽教授團隊在精密測量領域有着深厚的技術積累，基于自主研發的技術成果，打破了領域内的國外技術壟斷，公司發展前景十分廣闊。同時，普樂精儀在産業化的發展實踐過程中，展現出了旺盛的生命力與蓬勃的朝氣，這個年輕的科技公司将爲國内制造技術的發展持續貢獻力量。
