财聯社 12 月 26 日訊（編輯 周子意）三星電子正在開發自己的 " 智能傳感器系統 "，用于對半導體工藝的控制和管理。這項新技術有望提高半導體良率、提高生産率。
據 ETNews 報道，三星電子内部已經開始了智能傳感器系統的研究與開發，預計未來将應用于無人駕駛和人工智能半導體制造過程。該項目據悉正在與有關夥伴和學術界合作進行。
精确測量和管理等離子體條件，被認爲是半導體生産工藝中的重要工作之一，因爲隻有在半導體制造過程中精确控制等離子體的均勻性和密度，才能提高半導體良率、确保産量。
而 " 智能傳感器系統 " 可以用于測量晶圓等離子均勻性，準确測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望實現産能的提高。
該公司現有的晶圓智能傳感器大部分采購自國外廠商，耗資巨大。而近期，鑒于對提高産量和生産率的需求不斷飙升，三星選擇轉向内部研發，降低對外國傳感器的依賴程度。
此外，三星電子正在開發的智能傳感器據悉是超小型的，不會對現有設備空間造成太大影響。這意味着還能夠提高空間利用率。
三星電子還計劃逐步擴大智能傳感器的開發和應用範圍。其目的是開發智能傳感器和系統，可用于各種半導體工藝，而不限于等離子體。
上述舉動是三星對構建智能半導體生産系統的嘗試，或許最終有望實現 " 人工智能晶圓廠 "。
