ASML 公司于 2022 年參展第五屆進博會(圖片來源:钛媒體 App 編輯拍攝)
2023 年 11 月 5 日 -10 日,第六屆中國國際進口博覽會(下稱 " 進博會 ")将在上海全面線下舉辦。
本屆進博會預計将迎來 154 個國家、地區和國際組織的來賓。已有超過 3400 家參展商和 39.4 萬名專業觀衆注冊報名,展覽面積約 36.7 萬平方米,參展的世界 500 強和行業龍頭企業數達 289 家,均超過之前曆屆水平。
作爲全球芯片領域的領先供應商,今年,ASML(阿斯麥)公司将攜光刻機、計算光刻和量測等諸多技術,以 " 光刻未來,攜手同行 " 爲主題第五次參加進博會,繼續亮相上海國家會展中心技術裝備展區集成電路專區。
展會召開前夕,ASML 全球副總裁、中國區總裁沈波與钛媒體 App 等進行深入的交流,分享行業洞察、業務進展等情況。
沈波表示,去年 ASML 全球淨銷售額達 212 億歐元,預計 2023 财年,公司全球銷售額增長 30%,将達 270 餘億歐元。據 ASML 最新季報,明後年全球半導體行業将企穩。預計到 2025 年,現有晶圓廠産能将會增加并有新的晶圓廠投入使用,半導體設備行業将會迎來比較大的增長,迎來需求的 " 高潮 "。
沈波透露," 我們現在對自己産能的判斷,目标是在 2025 年底或 2026 年初,具備每年 500 台 -600 台深紫外(DUV)的設備産能。"
光刻設備供不應求,ASML 中國的機台裝機量接近 1400 台
簡單來說,光刻是指,晶圓被放入光刻機中,光線會通過 " 掩模版 " 投射到晶圓上,光刻機的光學系統将掩模版上設計好的電路圖案縮小并聚焦到晶圓上的光刻膠。當光線照射到光刻膠上時,會産生化學變化,将掩模版上的圖案印制到光刻膠塗層上。
因此,光刻在芯片制造過程中至關重要。而光刻機也被譽爲半導體 " 皇冠上的明珠 "。(詳見钛媒體 App 前文:《解密光刻機巨頭 ASML 的發家史》)
作爲全球半導體行業的創新領導者,1984 年成立的 ASML 公司,提供涵蓋硬件、軟件和服務在内的全景光刻解決方案,幫助芯片制造商在矽晶圓上批量 " 刻 " 制圖形。同時,ASML 也是目前世界上唯一使用極紫外光(EUV)的光刻機制造商。
事實上,光刻機制造過程繁雜、難度較大。
" 我們的光刻機每小時能處理多達 300 餘片晶圓,每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間隻有十幾秒。這十幾秒,機器要把所有的曝光完成。其中,在一片晶圓上,根據産品種類和設計的差異需要産生 100 束光左右,每一束光都會有區别,并且在實時調整。這個過程非常複雜、非常精細。" 沈波表示,光刻環節,處于上千道工序裏面最核心的位置。量産芯片廠,産品良率基本上在 90% 以上。這一千多道工序,每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精确。任何一道工序有問題,芯片最後出來就可能不是一個合格的産品,這對芯片廠而言是巨大的成本。
ASML 全球副總裁、中國區總裁沈波
沈波先生于 2018 年 1 月加入 ASML 公司,現擔任 ASML 全球高級副總裁和中國區總裁職務,負責 ASML 公司在中國的總體業務發展和運營。在加入 ASML 之前,沈波曾供職于美國通用電氣 ( GE ) 公司、芬蘭富騰工程公司等。
自 1988 年向中國交付了首台步進式光刻機之後,ASML 公司已經在中國市場深耕 30 餘年,參與支持了中國半導體行業的發展,提供全包括光刻機台、計算光刻、以及光學和電子束量測的全景光刻解決方案,從而幫助客戶提高效率并降低成本。
目前,ASML 在中國設有 16 個辦事處、12 個倉儲物流中心、3 個開發中心、1 個培訓中心以及 1 個維修中心。ASML 在中國大陸的員工總人數已經超過 1600 人。
事實上,中國已成爲 ASML 最重要的市場之一。
今年 10 月 18 日 ASML 公布的最新财報顯示,截止 9 月 30 日的前三季度,ASML 全球淨銷售額達 203.21 億歐元,而中國區同期收入約合 52.67 億歐元,占比 25.91% 左右。ASML 預計,2023 年第四季度的淨銷售額在 67 億 -71 億歐元之間,毛利率在 50%-51% 之間。
" 總體來講,到目前爲止,我們還屬于有一點産能不足的狀态。對市場的需求來說。盡管現在全球行業整體處在周期谷底,但 ASML 目前在手還沒執行的訂單有 350 億歐元。總體上(光刻設備)還是供不應求。" 沈波表示,2022 财年,ASML 全球淨銷售額達 212 億歐元,今年全公司銷售額增長 30%,預計達 270 億歐元以上。
對于中國市場,沈波對钛媒體 App 表示,"現在網上有各種各樣的關于我們的消息,說我們不賣機器到中國,這種很吸引眼球的傳聞。然而,實際上我們從 1988 年首台機器運到中國,到 2023 年底,ASML 在中國的光刻機加上量測的機台裝機量接近 1400 台。所以,實際上我們這些年在中國的成長幅度還是非常可觀的。我們一直在不停地投入做這件事情。"
" 對于我們來講,我們是跟着這個(中國半導體産業)成長在不停地投入,團隊的投入、備件領域的投入、産品開發方面的投入,我們在中國都不斷地投入才形成這樣一個局面。我們的出發點,是爲了更好的支持中國客戶的生産以及其今後的發展,我們一直是沿着這個思路在成長。" 沈波表示,接下來,ASML 仍将持續、更好地支持客戶的發展,尤其在本土的客戶服務方面也在不斷地加大投入力度。
第六屆進博會期間,ASML 将會展示 " 鐵三角 " 全景光刻解決方案:配備先進工藝控制能力的光刻機台、計算光刻、光學及電子束量測。
其中,需要稍微科普的一個技術是 " 計算光刻 "。
發展 30 多年的計算光刻,目前主要應用于芯片的開發與制造環節,通過優化成像光源與掩模版設計,實現更精确的圖形成像和更好的芯片生産良率。目前,ASML 擁有全球領先的光學鄰近效應修正(OPC)、光源 - 掩膜協同優化技術(SMO)等計算光刻技術。
今年 3 月,英偉達宣布與台積電、ASML、新思科技 ( Synopsys ) 合作,利用 NVIDIA cuLitho 計算光刻技術軟件庫,将計算光刻加速 40 倍以上,爲 2nm 及更先進的工藝奠定基礎,引發廣泛關注。
截至目前,全球範圍内有衆多芯片制造商已采用 ASML 的計算光刻技術,并基于此技術加速研發周期以及制造芯片。今年,ASML 計算光刻中國團隊已開發并發布了一款新版本的計算光刻産品。
在 " 鐵三角 " 中,ASML 中國團隊參與了計算光刻和電子束量測業務的相關開發工作。
其中,深圳和武漢的研發中心參與計算光刻開發,是全球體系的一環;北京研發中心在 ASML 電子束檢測産品線中具有重要作用,參與了多個電子束檢測模塊開發。
在沈波看來,作爲公司全球研發體系的一環,ASML 在國内的技術團隊和其他地區的團隊通力合作,有不少項目都是各地的技術人員進行協作,融爲一體的。" 半導體行業從誕生起就是全球合作的,在 ASML 也是一樣。" 沈波曾表示。
沈波強調,2018 年初,ASML 中國團隊有 500 人左右,到今年底是 1600 多人。預計到 2024 年,ASML 也将計劃有一個可持續的團隊成長。
ASML 助力晶圓廠,美禁令影響明年中國業務的 10%-15%
沈波表示,ASML 成立至今,團隊持續秉持 "3C 文化 ":挑戰求精(Challenge)、合作共進(Collaborate)、關愛緻遠(Care)。
" 我們一直在講,我們團隊與團隊、同事、客戶之間都是合作的關系。我們跟客戶是很重要的合作夥伴,協作這個概念在我們公司是貫徹得非常一緻的。" 沈波表示,ASML 會持續助力全球晶圓廠、芯片企業成長。
沈波坦率地表示," 我們的工作很辛苦,員工半夜兩三點接到客戶打來的電話,就得馬上幫客戶去解決問題。因爲每一分鍾的效率都關系到客戶的利益,提前一分鍾把機器恢複起來對客戶來說都是好的,所以需要我們快速地去響應客戶的需求。我們努力關愛員工,在更高層面上也對行業充滿敬畏與責任感。我們認爲,關注行業的未來比單純追求商業利益更加重要。"
" 我們關心的是行業長遠健康發展,我們的商業利益不是首位的。從财務狀況可見,ASML 的盈利水平僅爲行業的平均水平。我們并沒有追求要賺到更多的錢,而是更關注解決技術挑戰,因爲如果我們不采取行動,整個行業可能會受到影響。我們深感責任重大,正在努力推進技術進步以支持整個半導體行業發展,即便這個過程很困難。" 沈波表示。
過去五年,全球半導體産業經曆了缺芯、缺設備、地緣博弈、經濟衰退、消費電子需求減弱等多個疊加的複雜環境因素,ASML 又身處芯片行業中的核心領域,持續面臨着挑戰與機遇。
據新華社,美國商務部于 10 月 17 日發布了對華半導體出口管制最終規則,進一步加嚴對人工智能相關芯片、半導體制造設備的對華出口限制。
當被問及相關話題時,沈波坦言," 現在對于新的出口管制政策,我們還在研究中。總體來看,如果以今年我們在中國的業務爲基礎,明年的業務大概會受到 10%-15% 的影響。中國明年的市場需求還是蠻旺盛的。短期内我們感覺應該對總體業務量不會有太大影響。從公司角度,到 2030 年,行業整體趨勢一直起伏性增長,所以對公司銷售的總體趨勢不會有太大的改變。"
具體來說,因受到外部影響導緻明年無法繼續供應的産品,将約占 ASML 中國區業務銷售比重的 10%-15%。
" 我們隻有部分浸潤式産品明年會被放到出口管制的範圍,并不是所有的。即使有了新的出口管制,我們還有非常大的一塊浸潤式的業務在中國。" 沈波補充稱。
" 芯片這個行業的發展到現在已經超過 60 年了,從集成電路發明到現在,一直沿着自己的規律在往前走。如果我們去看中國這個産業裏面最有影響的地方在哪?可以從不同終端市場來看。" 目前,中國在家電和消費電子、新能源汽車、電力儲能、多晶矽、太陽能電池和組件等終端領域發展迅速。
沈波稱," 在我們看來,先進制程芯片從數量上講是相對較小的,絕大多數是成熟制程芯片。我覺得,對于中國來講,這麽大終端市場需求推動下,把成熟制程芯片做到非常具有競争力的水平,對半導體行業來講是最高效的,可以達到一個事半功倍的效果,有助于提高投入産出比。"
沈波對钛媒體 App 表示,要提升中國成熟制程的全球競争力,未來還需長期努力與産業鏈各環節的通力合作。" 全球競争力的提升是一個值得思考和努力的方向。"
" 中國市場就像一個縮小的全球市場,很多樣化,擁有各種客戶和産品。" 沈波強調,ASML 的服務不僅限于機器的維修和維護,更在于幫助客戶充分利用設備并優化工藝流程,且根據工藝需求與客戶合作進行調整和優化。ASML 對所有客戶而言,很大的附加值是幫客戶把機器用得好。" 我們的服務範圍遠遠超過維修這個範疇,包括與客戶技術人員合作以改進和開發工藝。" 沈波總結道。
過去幾年,ASML 每年 DUV 設備供應的能力達 200 台左右。沈波透露,到 2023 年,DUV 設備制造産能應該能達到 300 多台,但供應缺口仍然很大。近年來,公司積極和供應商溝通,以期在配合和協作下,确保順利地響應、滿足 2025 年底的 600 台設備的目标産能。
" 如果各個方面都配合得完美無缺,我們在 2025 年底或是 2026 年初,就能具備每年 500-600 台之間的 DUV 設備制造産能。" 沈波坦率地表示,如果中間發生一些不順利的事情,這個時間點還會晚一點。
沈波強調,如果 2025 年行業需求迅猛增長的話,對公司來說還将是 " 加油幹 " 的一年。
(本文首發钛媒體 App,作者|林志佳)